Активная среда
Активной средой эксимерного лазера являются молекулы газа. Но, в отличие от лазеров на CO, CO2 или N2, генерация в эксимерных лазерах происходит не на переходах между различными колебательно-вращательными состояниями, а между различными электронными состояниями молекул. Существуют вещества, которые в основном состоянии не могут образовывать молекулы (их частицы в невозбужденном состоянии существуют лишь в мономерной форме). Это происходит, если основное состояние вещества соответствует взаимному отталкиванию атомов, является слабосвязанным, либо связанным, но при наличии больших межъядерных расстояниях (рис.1).
Рисунок 1: а - резко отталкивательная кривая; б - плоская кривая; в - кривая связанного состояния на больших межъядерных расстояниях
Молекулы рабочего вещества эксимерных лазеров грубо можно разделить на два вида: образованные частицами одного и того же вещества и частицами двух различных веществ. В соответствии с этим сами активные среды можно назвать "эксимеры" (excimer, excited dimer - возбужденный димер) и "эксиплексы" (exciplex, excited complex - возбужденный комплекс).
Процесс получения генерации в эксимерном лазере удобно рассмотреть с помощью рисунка 2, на котором представлены кривые потенциальной энергии для основного и возбужденного состояний двухатомной молекулы А2.
Рисунок 2. Энергетические уровни эксимерного лазера.
Поскольку кривая потенциальной энергии возбужденного состояния имеет минимум, молекула А2* может существовать. Данная молекула является эксимером. В процессе релаксации возбужденной среды устанавливается определенная траектория потока энергии, которая содержит скачок, преодолеваемый только испусканием излучения. Если в некотором объеме накопить довольно большое количество таких молекул, то на переходе между верхним (связанным) и нижним (свободным) уровнями можно получить генерацию (вынужденное излучение) - связанно-свободный переход.
Этот переход характеризуется следующими важными свойствами:
При переходе молекулы в основное состояние в результате генерации она немедленно диссоциирует;
Не существует четко выраженных вращательно-колебательных переходов, и переход является относительно широкополосным.
Если инверсия населенностей не достигается, то наблюдается флюоресценция.
Если нижнее состояние является слабосвязанным, то молекула в этом состоянии претерпевает быструю диссоциацию либо сама (предиссоциация), либо вследствие первого же столкновения с другой молекулой газовой смеси.
В настоящее время получена лазерная генерация на ряде эксимерных комплексов - квазимолекулах благородных газов, их окислах и галогенидах, а также парах металлических соединений. Длины волн генерации этих активных сред приведены в таблице 1.
Таблица 1
Эксимерные комплексы |
Квазимолекулы благородных газов |
Окислы благородных газов |
Пары металлических соединений | ||||
Активная квазимолекула |
Xe2* |
Kr2* |
Ar2* |
ArO* |
KrO* |
XeO* |
CdHg* |
λген, нм |
172 |
145,7 |
126 |
558 |
558 |
540 |
470 |
∆λ, нм |
20 |
13,8 |
8 |
25 | |||
Римп, МВт (Рср, Вт) |
75 |
50 | |||||
τ, нс |
10 |
10 |
4-15 | ||||
Активная квазимолекула |
XeBr* |
XeF* |
ArF* |
ArCl* |
XeCl* |
KrCl* |
KrF* |
λген, нм |
282 |
351 |
193 |
175 |
308 |
220 |
248 |
∆λ, нм |
1 |
1,5 |
1,5 |
2 |
2,5 |
5 |
4 |
Римп, МВт (Рср, Вт) |
(100) |
3 |
1000 |
(0,02) |
(7) |
5 (0,05) |
1000 |
τ, нс |
20 |
20 |
55 |
10 |
5 |
30 |
55 |